Описание темы работы, актуальности, целей, задач, новизны, тем, содержащихся внутри работы.

Данный раздел вводит читателя в предмет микроэлектроники и даёт определения интегральным схемам, описывает их устройство и значение в электротехнике.

В данном разделе рассмотрены методы выращивания монокристаллического кремния, используемого как исходный материал для изготовления интегральных схем.

Раздел раскрывает технологию создания плоских высококачественных пластин из выращенного кремниевого кристалла, необходимых для дальнейшего построения микросхем.

Раздел посвящён ключевому этапу производства микросхем — формированию электронных компонентов методом фотолитографии с применением световых масок.

Детально рассмотрен этап создания металлических дорожек и контактов внутри интегральной схемы для обеспечения электрических связей между элементами.

В разделе рассмотрены современные методы тестирования производимых интегральных схем с целью обеспечения соответствия техническим требованиям.

В данном разделе описаны технологии корпусирования готовых интегральных схем для защиты и интеграции их в электронные устройства.

Раздел рассматривает современные инновационные направления и перспективы развития технологий изготовления микроэлектронных устройств.

Описание результатов работы, выводов.

Список литературы.